主要技术指标: 1,电源:220V 50Hz 1,5KW。 2,固体高能离子发生器:13,56MHz;0~500W连续可调。 3,最大装片直径:6英寸。 4,起辉真空度:约-100KPa左右。 5,气体流量:0~5L/min。(质量流量计) 6,基片温度:<100℃。 7,真空腔:铝腔。 8,4L/s机械真空泵。 9,自动匹配器。 10,控制方式:PLC、触摸屏控制。 国产精品久久。